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立式真空退火爐真空電弧爐是在抽真空的爐體頂用電弧直接加熱熔煉金屬的電爐。爐內氣體淡薄，主要靠被熔金屬的蒸氣發生電弧，為使電弧不亂，一般供直流電。按照熔煉特點，立式真空退火爐分為金屬重熔爐和澆鑄爐。按照熔煉過程中電極是否消耗（熔化），分為自耗爐和非自耗爐，產業上應用的大多數是自耗爐。真空電弧爐用于熔煉特殊鋼、活潑的和難熔的金屬如鈦、鉬、鈮（見真空冶金）。
立式真空退火爐電弧電熱可以以為是弧阻電熱。電弧（弧阻）不亂是爐子正常出產的前提。交流電弧爐通常采用工頻電,為使電弧不亂,爐子供電電路中要有適當的感抗，但是存在感抗會降低功率因數和電效率。降低電流頻率是發展交流電弧爐的途徑。弧阻阻值相稱小，立式真空退火爐為獲得的熱量，爐子需要相稱大的工作電流，因此爐子短網的電阻要盡量小,以免電路損耗過大。對于三相電弧爐,要使三相的阻抗接近一致，以免三相負荷不平衡。
立式真空退火爐等離子爐 利用工作氣體被電離時產生的等離子體來進行加熱或熔煉的電爐。產生等離子體的裝置，通常叫作等離子槍，有電弧等離子槍和高頻感應等離子槍兩類。把工作氣體通入等離子槍中，立式真空退火爐槍中有產生電弧或高頻(5～20兆赫)電場的裝置,工作氣體受作用后電離，天生由電子、正離子以及氣體原子和分子混合組成的等離子體。等離子體從等離子槍噴口噴出后，形成高速高溫的等離子弧焰，溫度比一般電弧高得多。常用的工作氣體是氬，它是單原子氣體，輕易電離，而且是惰性氣體，可以保護物料。工作溫度可高達20000□;用于熔煉特殊鋼、鈦和鈦合金、超導材料等。爐型有配置水冷銅結晶器爐、立式真空退火爐 中空陰極式爐、 配置感應加熱的等離子爐、有耐火材料爐襯的等離子爐等（見等離子冶金）。
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